低温600℃以下、高分解率99％以上でPFC・SF6・NF3を除害処理
PFC・PFN除害装置「クリーンエスPF・PFN」は、低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式で、除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。
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基本情報
●ガス検知器により反応器の終点（破過）を確認できる終点検知システム ●除害筒およびラインの閉寒状態を圧力センサーの圧力上昇で検知し、バイパス弁を自動開し除害筒をバイパスさせます。 ●1筒式：空気又は窒素パージ*により有害ガスの外部漏洩なしで交換可能（※PFNのみ窒素パージ） ●2筒式：ガス検知器により反応器の終点（破過）を検知し自動で予備筒に切替可能。1筒式の機能に加えエッチング装置を停止せずに除害筒の交換ができます。 ●装置上部に設けたダンパーとお客様の排気ダクトを接続して排気させる事により、除害装置内部が負圧となり、万が一装置内にリークが発生しても除害装置外に漏洩する事がありません。 ★詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
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近年、産業界の技術革新は目を見張るものがあります。スピーディでフレキシブルな対応とコストダウンで機器装置の製作及び、メンテナンス業務のサービスを提供いたします。