半導体製造プロセス用として小型セル型発信器を特長としたモデル
メンテナンス性や高精度インライン計測などのFUD-1 Model-13のメリットはそのままに、半導体製造プロセス 用として小型セル型発信器を特長としたモデルとなります。 薬液中の超音波伝播速度（音速）は薬液濃度及び温度によって変化する特性があり、本 濃度計は薬液中の音速・温度を高精度に測定します。 この音速・温度情報を基に内臓データロムに記録した検量線により濃度を演算し、出力します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○リアルタイム濃度測定が可能で、濃度管理システム構築も簡単 ○アナログDC4～20ｍA及びデジタルRS232Cを標準装備 ○計測エラー出力・警報出力を標準装備 ○自己診断機能・エラーメッセージ表示を標準装備 ○小型・軽量セル型発信器はラインにダイレクト設置が可能 ○PFAを採用した接液部材質、小出力設計で薬液への影響が無い ○高精度での連続計測が可能 ○定期的な調整・校正が不要でメンテナンスフリー ○設置時の各種調整等が不要で設置も容易 ○リアルタイム出力による工程へのフィードバックも容易 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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納期
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用途／実績例
【用途】 ○CMP工程におけるCMPスラリーまたは酸化剤濃度管理など ○希釈工程における各種薬液濃度管理など（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCｌなど） ○洗浄工程における洗浄液濃度管理など（HF・NH4OH・KOH・IPAなど） ○エッチング工程におけるエッチング液濃度管理など（HF・H2SO4など） ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
当社は、1976年の創業以来、超音波応用技術に特化した製品を開発し、世に送り出してまいりました。 超音波と言っても、皆様には馴染みが薄いかもしれませんが、まだまだ未知の部分が多く、その応用範囲は無限であると考えております。 当社では、「超音波技術を介し、価値を創造し、その価値をお客様と共有する」を企業理念に掲げ、付加価値の高い商品をタイムリーにお客様へお届けし、満足と喜びに貢献する所存でございます。 今後ともご愛顧の程を宜しくお願い申し上げます。
