世界最小クラスのスパッタカソード単品試作から用途に合わせて製作
超高真空1インチ（小型）スパッタカソードは、世界最小クラスで単品試作から用途に合わせて製作します。製品開発の背景には研究装置の小型化、レアメタル材料の使用効率化、高品質化・高再現性・量産応用可能技術への継続性、分析・評価システムへの接続などがあります。ヘッド直接ガス導入・水冷式構造でφ1インチターゲット対応、マッチングボックス内蔵の専用RF電源付きでUHVにも対応お手持ちの真空チャンバーに容易に搭載可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ○ICFフランジ（超高真空規格フランジ）マウント構造 →既存UHVチャンバーへの接続が容易、増設が可能 ○超高真空対応 →超高真空表面分析装置・評価装置との接続が可能で、高品位成膜に寄与 ○ガス導入系マウント構造 →ターゲット表面にガス導入できることで、効率的で再現性の良い プラズマ環境（密度・圧力環境）を得ることができる →酸化・窒化物成膜などの化合物薄膜作成に優れる ○基板ダメージ提言に寄与し、スバッタ効率（成膜レート）を高められる ○バッタカソードとしてだけでなく、プラズマCVD・エッチング電極ならびに 表面改質プラズマソースとしての応用が可能 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
お問い合わせ下さい。
納期
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
お客様に納得されるオーダーメイド品を製造・販売しております。この他にも様々なご要望にお応えいたします。