クリーニングヘッドの進化が精密除塵・除電をさらにパワーアップ。
当カタログは、ワーク表面に付着したミクロン径の異物を 超音波振動エアーにより吸引・回収する非接触方式の洗浄システム 「超音波ドライクリーナー」などを掲載しています。 フラットパネル用の超音波エアー基板クリーナーをはじめ、 バキュームクリーナーや、スポットクリーナー等を取り揃えています。 【掲載内容（抜粋）】 ■フラットパネル用 超音波エアー基板クリーナー ■フラットパネル用 超音波エアー両面クリーナー ■バキュームクリーナー ■スポットクリーナー ■超音波エアーウェブクリーナー ■イオナイザー主要製品 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の掲載内容（抜粋）】 ■解説資料 ・基本原理説明 ・原理 ・接触方式と非接触方式 ・粒子の付着状態 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
ヒューグルは1969年、半導体産業の創世期に半導体製造装置のワールドリーダーだったアメリカ・ヒューグルインダストリーズ社の極東支社として、最初のスタートを切りました。そして、この先発の利を生かし、1971年に独自のメーカーとしての基盤を確立。 以来、日進月歩で進化を続ける半導体及びＬＣＤなどフラットパネルの世界で、つねに時代の流れに先駆けて、数々の独創的な 製品を開発・提供してきました。 特にご注目いただきたいのは、あくまでもオリジナリティにこだわり、他があまり手がけない、しかも品質に大きく影響する “ピュアでクリーンな生産環境に関わる機器・装置”に、いち早く着目して専門特化をはかったことです。 ご承知のように、半導体の技術革新は限りない高集積化をめざしており、必然的に生産や検査をめぐる環境には「超」のつく 清浄度と純粋さが求められます。 そこで私たちは“Ｃｌｅａｎ＆Ｑｕａｌｉｔｙ”の理念を前面に掲げ、持てる技術の精緻を究めて、より高度な生産環境を 実現するために、力を尽くしてきたのです。