ローノイズでコンパクト！裏面入射型ペルチェ冷却FFT-CCD使用
分光器とは、光を虹(波長ごとの光)に分けて波長ごとの光の強さを測定するものです。薄膜などに光をあて、その反射光を分光することによって薄膜成分を計測します。応用例としては、各種ディスク上の膜厚の厚み管理、半導体用ウェハ上のレジスト膜・SiO、光学レンズのコーティング膜厚管理、各種フィルムの膜厚測定、ガラス基板上の配向膜・ITO膜のインライン計測、LEDの色計測などがあります。インライン用多チャンネルシステムも構築実績あります。 詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
【特徴】 ○読出し信号10electoronicsと微小な光に反応 ○電子冷却FFT－CCDを使用しているため、ローノイズでコンパクト ○超高感度であるため、オンライン測定などの高速計測が可能 ○色計測ソフトウェア、膜厚解析ソフトウェアを用意 ○分光ユニットを使用したハード、ソフト、機構部のトータルシステムに対応 ○インターフェースはUSBタイプ、E-therタイプ、SCSIタイプ ○LED発光用外部出力端子付き ●詳しくはお問い合わせください。
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納期
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用途／実績例
【応用例】 ○各種ディスク上の膜厚の厚み管理 ○半導体用ウェハ上のレジスト膜、SiO ○光学レンズのコーティング膜厚管理 ○各種フィルムの膜厚測定 ○ガラス基板上の配向膜、ITO膜のインライン計測 ○LEDの色計測 ○インライン用多チャンネルシステムも構築実績あります。 ●詳しくはお問い合わせください。
企業情報
ディスクテックの画像処理は社内光学系技術者、レーザー技術者、ハードウェア、ソフトウェア、精密機械技術者がトータルソリューションを提供します。赤外線を応用した検査装置、三次元検査装置など手がけています。自社製品の赤外線顕微鏡は10年以上の実績があります。
