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エアロゾルデポジション(AD)法の基礎と成膜特性、デバイス応用

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S30201

最終更新日:2020年02月13日

株式会社AndTech
株式会社AndTech
  • 公式サイト

★成膜原理やプロセスパラメータなどの基本からエネルギーデバイスへの応用開発など、最新情報を紹介

【講演主旨】  セラミック微粒子をガス中に分散混合したエアロゾルをノズルから高速で噴射し基材に衝突させることで基材上にセラミックス膜を形成できる微粒子衝突固化現象を利用した新製膜技術(エアロゾルデポジション法)は、室温で比較的簡単に厚膜の形成ができるなどの特徴を持ち、ナノレベルの結晶子サイズからなる緻密な構造物ができる。膜特性として、緻密質ゆえに高硬度、基材との密着性も高く、電気的絶縁性にも優れている。  この方法は、アルミナを始めとする酸化チタン、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、イットリア等の酸化物や炭化物珪素等の非酸化物材料の製膜も可能であり、さらに異種材料の複合化も可能である。また、常温で製膜することから樹脂や金属等の低融点材料にまで製膜することができる。今回は、その総論としてその製膜技術の特徴と従来の製膜体との比較や製膜性に及ぼす各種パラメータの関係、とこの製膜体の応用展開について述べる。

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エアロゾルデポジション(AD)法の基礎と成膜特性、デバイス応用

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基本情報

【講 師】 第1部 TOTOファインセラミックス(株)  第2部 独立行政法人産業技術総合研究所 【会 場】 川崎市国際交流センター  1F 第1会議室  【神奈川・川崎】 【日 時】 平成25年2月12日(火) 13:30-16:30

価格情報

47250 1月29日を過ぎると【定価】1社2名につき50,400円

価格帯

1万円 ~ 10万円

納期

2・3日

用途/実績例

第1部 エアロゾルデポジション法とその実用化【13:30-14:45】 【プログラム】 1.はじめに   2.エアロゾルデポジション法  2-1 エアロゾルデポジションとは  2-2 製膜体の特徴  2-3 他方式とエアロゾルデポジション法の比較 3.エアロゾルデポジション法製膜体の特性   3-1 機械・電気・光学的特性  3-2 各種セラミックスの製膜体 4.エアロゾルデポジション法の応用と実用化  4-1 エアロゾルデポジション法の用途展開の可能性  4-2 各種用途展開紹介  4-3 エアロゾルデポジション法と耐食性部材としての実用化 5.まとめ 第2部 エアロゾルデポジション(AD)法の成膜メカニズム・測定法とデバイス応用、将来展望【15:00-16:30】 【プログラム】 1.研究の背景 2.エアロゾルデポジション(AD)法とは? 3.成膜メカニズム 4.AD法のデバイス応用  4-2 Li電池応用 4-3 燃料電池応用 4-4 太陽電池応用  4-5 超電導線材応用 4-6 大面積成膜 (ロールtoロール方式など) 5.特許出願動向

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株式会社AndTech

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弊社は、化学、エレクトロニクス、自動車、エネルギー、医療機器、食品、建材など、幅広い分野のR&Dを担うクライアントのために、「セミナー企画」に始まった事業領域を「講師派遣」「出版企画」「技術コンサルタント派遣」「動向調査」「ビジネスマッチング」「事業開発コンサルティング」といった様々な事業形態(新事業)に展開することで、ここまで企業を発展させ、新たな市場を開拓してきました。AndTechはこれからも、クライアントの声に耳を傾け、クライアントが望む事業領域・市場に進出して、共に悩み、共に考え、共に道を切り拓く企業として、クライアントに愛される意味を見失わないことをお約束いたします。

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