高速、高精度位置決めを実現します！ X軸ステージのストロークは6μmから700μmまでご用意しております。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのX軸ステージです。 ストロークとして、6～700μmまでラインアップしています。 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 インターフェースも使い易く、制御コントローラは「アナログ入力」と「デジタル入力」の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からでもカスタム対応しており、カタログ標準品以外にも真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【X軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS1H25-006U ○PS1H35-006U ○PS1H45-012U ○PS1H60-020U ○PS1H80-030U ○PS1H80F-030U ○PS1H40F-020U ○PS1H60F-060U ○PS1L40-050U ○PS1L40-100U ○PS1L60-250U ○PS1L60-500U ○PS1L80-700U ○PS1L60F-100U ○PS1L80F-300U ○PS1L100-100U ○PS1L100-300U ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格帯
納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
【アプリケーション例】 ○HDDテスト ○半導体、液晶検査装置 ○干渉計機器 ○光ピックアップ検査、評価 ○共焦点顕微鏡 ○ナノメータポジショニング 詳しくはお問い合わせください。
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
