高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/30μmから500/500μmまでご用意しています。
超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で、制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 サンプルソフト（無償）も用意しています。 また、単品からカスタム対応しており、カタログ標準品以外でも、真空や非磁性仕様、あるいは装置組込における様々な要求について、用途に適応させたピエゾステージを設計製作します。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特長】 ○高速、高精度位置決め ○使いやすいインターフェース ○単品からカスタム対応 【XY軸ステージ製品ラインアップ】 ○PS2H100-030U ○PS2H130-030U ○PS2H150-050U ○PS2L50-050U ○PS2L50-100U ○PS2L60-250U ○PS2L70-500U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
-
納期
用途／実績例
【アプリケーション例】 ○HDDテスト ○半導体、液晶検査装置 ○干渉計機器 ○光ピックアップ検査、評価 ○共焦点顕微鏡 ○ナノメータポジショニング 詳しくはお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。