移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXY軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。
超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXY軸ステージです。 ストロークは100/100μmから300/300μm、分解能は2/2nmから6/6nmまでの５つのラインナップからお選びいただけます。 移動テーブル中央に開口（透過穴）を有したラインナップです。レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■コンパクトから大開口まで 小型デバイスに適したコンパクトな開口からタイプから、大きなパネル基板をアライメントできる大開ロタイプも揃えています。 ■スムーズで精確なスキャニング 高精度フィードバック制御により、指令信号に従った信頼性の高い動作が行えます。 また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【XY軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK2L130-100U ○PK2L150-100U ○PK2L150-200U ○PK2L150-300U ○PK2L280-200U ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
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納期
~ 1ヶ月
用途／実績例
走査型プローブ顕微鏡 顕微鏡試料テーブル 分光分析機器 半導体、FPD関連装置 露光装置 マッピング測定
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
