超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特長】 [MT-53-PM] ○ケーブルの引き出し方向変更可能 ○複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可 ○エンコーダ無しオープンループ制御も可（オプション） ○真空対応可 ○クリーンルーム仕様納品可 ○非磁性オプション可 [MT84] ○高真空対応可 ○クリーンルーム仕様納品可 ○非磁性オプション可 [MT105] ○アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立可 ○取付金具でZ方向も組立可 ○機能的及び電気的変更のカスタム対応可 ○超高真空・非磁性対応可 ○クリーンルーム仕様納品可 [MT196] ○アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立可 ○非接触型停止スイッチ機能有り ○高分解能リニアエンコーダーを使用することにより、 分解能0.005μmも可 ○高ガラススケール使用で高位置決め精度 ○コネクタのタイプ、サイズ、ピン-アサイトメントはカスタム対応可 ○真空・非磁性対応可 ○クリーンルーム仕様納品可 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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