真空対応可で、クリーンルーム仕様納品可の製品になります。
リフティングステージは、真空対応可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。ストロークは16mm、位置きめ精度は2μm、垂直力/置換え比は1：3です。また、直進性/平面度は±2μm、最大送り速度は20mm/sです。最大加速度は200mm/sの2乗、最大負荷はＺ：30Ｎ、重量は4.5kgになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特長】 ○真空対応可 ○クリーンルーム仕様納品可 【性能仕様】 ○ストローク：16mm ○位置きめ精度：2μm ○垂直力/置換え比：1：3 ○直進性/平面度：±2μm ○最大送り速度：20mm/s ○最大加速度：200mm/sの2乗 ○最大負荷：Ｚ：30Ｎ ○重量：4.5kg ○モータ：リニアモータ（磁界無し） ○ケーシング：反り防止、酸化皮膜処理 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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翔栄システム株式会社は、「世の中に必要なものを提供し続け、お客様とともに断続成長を目指す」をモットーに、低価格・最適サーボシステムの設計、販売を行っています。 精密装置を使ったアプリケーションでお困り事がございましたら、是非一度、翔栄システムにご相談ください！私たちができる限りの力を使いまして、お客様にご協力させていただきたいと思います。