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ナノピンセット

最終更新日:2018年01月17日

アオイ電子株式会社
アオイ電子株式会社
  • 公式サイト

マイクロ・ナノサイズの試料の把持が可能な高性能ピンセットです。真空環境下においても試料把持に対応できます!

アオイ電子製ナノピンセット(Nano Tweezers)は、MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いてシリコンウェハより作製されたピンセットです。 専用コントローラを用いて電圧を印加することによって、先端が滑らかに開閉動作し、ナノ~ミクロンサイズの物体の把持が可能です。ナノピンセットを用いることで、TEM試料(幅3~5μm)、細菌・細胞(φ1~20μm)、シリコンウェハやガラス上の異物・ゴミのサンプルピックアップの実績もございます。 静電アクチュエータによる精密制御、平行開閉による良好な把持性能、高把持力を実現するロック機能等に加え、SEM・FIB等の電子ビーム環境下(真空環境下)における試料の把持に対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

    その他半導体製造装置その他理化学機器
aoidenshi_nanopinset.jpg

【アオイ電子】ナノピンセット

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aoidenshi_nanopinset.jpg
  • 関連リンク - http://www.aoi-electronics.co.jp/

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基本情報

【特長】 ○静電アクチュエータによる精密制御 →把持力の微調整ができ、バイオ試料をはじめとする柔らかく壊れやすい試料も把持できる。 ○高把持力を実現するロック機能 →最大で300μNに達する高把握力を有し、振動環境下や、金属片などの質量の大きい試料でも取り落とさずに把持できる。 ○→専用コントローラによる簡単操作 →ナノピンセットを操作するための専用コントローラは、ボタン制御による分かりやすいインターウェースを持ち、プリセットされた各種把持モードを利用できる。 ○着脱時先端保護 →先端部を保護する専用保護カバーを装着。 →先端を保護した状態で着脱できるため、安全に取り扱うことができる。 ○真空対応可能 →SEM・FIB等の電子ビーム環境下における試料の把持に対応可能 →TEM観察用試料をはじめ、ウェハやマスク上の異物など、様々な試料を高倍率で確認しながら把持できる。 ○撥水コート →把持部表面に単分子撥水コートを形成し、撥水性を付与することができる。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

価格情報

-

納期

詳細はお問い合わせください

用途/実績例

【実績例】 ○TEM試料(幅3~5μm)、細菌・細胞(φ1~20μm)、シリコンウェハやガラス上の異物・ゴミのサンプルピックアップの実績がございます。 詳しくはお問い合わせください。

詳細情報

  • aoidenshi_nanopinset_tem.jpg

    TEM試料 FBI内部にてSiウェハから削りだしたTEM試料を把持ちした様子。

  • aoidenshi_nanopinset_saikin.jpg

    細菌・細胞 寒天培地より、酵母菌(φ5μm)を把持した様子。

  • aoidenshi_nanopinset_gomi.jpg

    ウェハ上異物・ゴミ シリコンウェハ上の不定形パーティクル(幅約2μm)を把持した様子。

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