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排気圧力コントローラ EPS5000シリーズ

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最終更新日:2020年02月13日

株式会社エー・シー・イー
株式会社エー・シー・イー
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排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能

本排気圧力コントローラは、枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速での圧力制御を可能にしました。排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

    流量計圧力制御コントローラ
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排気圧力コントローラ EPS5000シリーズ

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基本情報

【特徴】 ○枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による  製造プロセスのユラギを防ぐための機器 ○独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブ →小型かつ極低圧損で高速での圧力制御が可能 ○排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理 ○排気ダクトの総流量・圧力管理で、大幅なエネルギーコストの削減が可能 【仕様】 ○排気配管:150A、125A、65Aへ対応 ○調整圧力(一次側):-50~-999Pa ○流量:10m3/分へ対応(150Aの場合) ○応答速度:2秒以内 ○圧力損失:10Pa以下(最大流量時) ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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用途/実績例

【用途】 ○枚葉式洗浄装置のチャンバー圧力制御 ○クリーンドラフトチャンバーやクリーントラックのチャンバー圧力制御 ○排気ラインの圧力変動を受ける機器及びプロセス ○液晶のエア・ナイフ槽の排気圧力コントロール ○クリーンブース内の排気圧力コントロール ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

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当社は平成11年3月株式会社エー・シー・イーとして設立・創業しました。 株式会社エー・シー・イーは、 Advanced Components and Equipmentのイニシャルを社名とし、流体計測・制御技術及びモニタリング技術をベースに、コンポーネント開発とその応用機器の提供を行っていくことを主要業務として事業を開始しました。 その後、ガス分析機器、ガス混合装置、表面処理技術等の開発により、半導体・液晶分野、燃料電池分野、環境分析分野及び一般工業分野等、様々な分野で当社の製品・システムが活躍しております。当社は「創造と挑戦」をモットーに、なおいっそうの努力と技術の向上をはかり、お客様のご期待に添いますように努力してまいります。

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