世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。
Radimoラジカルモニター ＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の 原子状ラジカルを計測 ○プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置 ○世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置 ○水素、窒素、酸素の原子状ラジカルを真空紫外吸収分光法を用いて ダイレクトに計測し、プロセスにフィードバック可能 ○ICF70フランジに取付可能 ○各種プラズマ装置に取付可能 →EBEP処理装置、CCPエッチング／CVD、Cat-CVD、 ICPエッチング／CVD 等 ○真空排気系一体制御型モニタリングシステム等、システム構成は お客様のニーズに対応 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
KKEは平成三年創立以来、今日まで皆様方の御厚い御支援、御協力を賜り厚く御礼を申し上げます。創立以前は私自身が技術業務に専念しておりました。その当時の学んだ事を糧にKKEは皆様と共に育って参りました。特に規格商品を持たず真空技術分野の「開発、設計、製造」を中心に手掛け、時には「産、官、学」共に御協力させて戴き大変喜ばしい事と存じます。お客様個別の仕様内容に応じ「開発、設計、製造」に最後まで取り組む姿勢を持って御客様のニーズに対し適確な判断の下で今日まで進んで参りました。21世紀の最先端科学技術に対応できる技術、開発指向型の企業を目指し「物創り」で社会に貢献することによって皆様方と共に幸福となるように努力致します。今後ともKKEを宜しくお願い致します。