スピーディーな真空排気で、生産性の向上に貢献します。
MARATHON CP-16 CRYOPUMPは、排気系内にオイルが存在せず、逆拡散がありません。起動前に使用される粗引ポンプの油もクロスオーバー圧を高く設定できるため逆拡散の心配がなく、先端産業に欠かせないクリーンバキュームを実現します。取付フランジは、ISO400, CVC10“又はワイヤシールフランジの中からお選びいただけます。オプションで自動再生コントロール付きシステムを選択可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【仕様】 ○窒素（L/s） 4,800 ○水（L/s） 17,300 ○アルゴン（L/s） 4,100 ○水素（L/s） 12,000 ○アルゴンスループット（Torr - L/s） 11.4 ○アルゴン排気容量（Std L） 5,500 ○水素排気容量（Std L） 50 ○クロスオーバー（Torr - L） 500 ○クールダウンタイム（分） 135 ○ポンプユニット重量（kg） 50 ○H寸法（mm) 633 ○メンテナンスサイクル（時間） 13,000 【納入範囲（標準構成）】 ○CP-16クライオポンプ ○ヘリウム圧縮機（HC-8E4 or F-70L/H） ○3Mフレキシブルガスホース ○3Mコールドヘッドケーブル ○ガスホース接続用レンチキット ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
ナガセテクノエンジニアリング株式会社（略称：NTE）は1983年に長瀬産業株式会社の機械サービス会社として設立し2009年には社名を現社名に変更、ナガセグループの機器開発・メンテナンスサービスの中核会社としてグローバルに事業を拡大しております。当社は半導体・医療分野などで使用される低温・真空関連機器の販売及びメンテナンス、半導体や液晶パネル等の製造に使用される薬液を再生利用するケミカルマネージメントシステム（CMS）更に光学・機能性フィルムやシートを検査する表面欠陥検査装置（SCANTEC）など３つの主力事業を運営しています。海外に広がる長瀬グループのネットワークを活用しグローバルにエンジニアリングサービスを強化することを目指します。更に新たな挑戦として弊社の高いエンジニアリング技術力を農業の領域に活かし国内の製造業以外のお客様にも役立てるよう取り組んでまいります。