アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にしました。
ソーターシステムは、SEMI Standardに準拠(E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600)しております。アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替を可能にし、高スループットを実現しました。IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能(表裏対応はオプション)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○SEMI Standardに準拠 →E15.1-0600,E57-0600,E62-0999,E63-0600,E64-0600 ○アライナにバッファ機能を設け、ウェーハの入替が可能 ○高スループットを実現 ○IDリーダ搭載によりウェーハのID読取が可能 →表裏対応はオプション 【仕様】 ○対象キャリア：300mmFOUP（25枚） SEMI E47.1.E62準拠品 ○対象ウェーハ：300mmシリコンウェーハ 厚さ775μm ○スループット：300枚/h ○クリーン度：ISO クラス2 ○外形寸法：W1250×D2500×H1900 ○重量：800kgf ○ユーティリティ →電源：AC200V±10％ 単相10A →ドライエア：0.5Mpa±10％ →真空：-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。