装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載
ソーターシステム6インチは、カセット2個を2段（計4個）に配置することで幅方向はインラインタイプの50％に縮小します。装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載しております。多軸型GCRタイプを搭載することにより、ロボットのみでカセットの平行配置が可能です。ガラス対応アライナは透明、半透明、シリコンのセンタリングとオリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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基本情報
【特徴】 ○カセット2個を2段（計4個）に配置 →幅方向はインラインタイプの50％に縮小 ○装置内に多軸型GCRとガラス対応アライナSAL3361GRを搭載 ○多軸型GCRタイプを搭載 →ボットのみでカセットの平行配置が可能 ○ガラス対応アライナは透明、半透明、シリコンのセンタリングと オリフラロケートを高速、高精度に位置決め可能 【仕様】 ○対象キャリア：150mmウェーハ用カセット ○対象ウェーハ：150mmウェーハ（ガラス、サファイア、GaAs） ○スループット：140枚/h（装置側の処理時間は含まない） ○クリーン度：ISO クラス2 ○外形寸法：W835×D940×H1815 ○重量：350kgf ○ユーティリティ →電源：単相AC200V±10％ 15A →真空：-53kPa以上 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。