[1nm分解能]真空中で使用できるリニアエンコーダ内蔵ステージ
アウトガス対策を施した真空対応フィードバックステージです。 真空チャンバーにそのまま導入可能です。 動作範囲が40mmとなっており位置決めと移動が１台でできます。 自社開発したリニアスケールを内蔵しているため、薄型で軽量な設計、フルクローズドループ制御による高精度な繰り返し位置決め性能を持っており、大気用と同等な特徴を備えています。
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基本情報
○5相ステッピングモータ、カップリング、ボールねじ、 リニアスケールを内蔵していながら薄型で軽量な設計を実現 ○フルクローズドループ制御により高精度な繰返し位置決めが可能 ○テーブルサイズ：80mm×80mm ○テーブル移動量：40mm ○対応真空度：10-４Pa ○耐荷重：49N ○最小分解能：1nm ○最大移動速度：２mm/sec ○対応コントローラ：FC-911 □ 詳しくはカタログをご覧いただくか、お問い合わせください□
価格帯
納期
用途／実績例
X線利用技術（放射光の集光等） 半導体関連（描画範囲のつなぎ合わせ等） 様々な先端研究に使用されています。
カタログ（1）
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CADデータ（1）
| 型番 | 概要 | ファイル |
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| DWG-DXF_FS-1040UPX(V) | 真空対応1nm分解能ステージ FS-1040UPX(V)の図面一式です。2Dは「DXF」「DWG」をご用意しております |
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企業情報
シグマ光機グループは、グローバルブランド『OptoSigma』の名の下、国内外のマーケットに対して 「光ソリューション・カンパニー」としての使命、そして「感謝」「挑戦」「創出」の気持ちを胸に、 さらに積極的に事業を展開し継続的な成長を果たすべく全社一丸となって挑戦してまいります。 今後とも、真の「ものづくり」を追求するシグマ光機グループに、皆様のご理解とご支援を賜りますよう、心よりお願い申し上げます。