ウエハー洗浄装置。ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適
本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。 詳しくはお問い合わせ下さい。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
【特徴】 ○ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置 ○Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、 自動で各工程を処理する為の自動化装置 ○SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映した ディップコーター型洗浄装置 【仕様】 ○ストローク：350mm ○対象サイズ：８ｉｎｃｈ ○対象材質：ウエハー、ガラス ○ディップ速度：0.1mm/secから40mm/sec ○塗布液循環部：有 ○塗布液温度管理：無 ○フィルターメッシュ：無（オプション可能） ○乾燥部：有 ○乾燥温度：無（オプション可能） ○ヘパユニット：有 ○装置サイズ(概寸)：W:1850×D:900×H:1880mm ●詳しくはお問い合わせ下さい。
価格情報
お問い合わせ下さい。
納期
※お問い合わせ下さい。
用途／実績例
【用途】 ○Max8inchのウエハー5枚同時か、1枚ずつ処理 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
カタログ（3）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
【経営理念】 顧客満足度NO1企業であれ 【モットー】 人は一瞬で変われる! 全ては今から!