最高1nm分解能をもち、応答性にも優れた超精密ステージです
最高1nm分解能をもち、応答性にも優れたTHKプレシジョンの『超精密位置決めピエゾステージ 総合カタログ』です。 豊富なラインナップで幅広い用途に最適な「ベーシックタイプ PS」 顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適な「開口付きタイプ PK」 対物レンズの焦点合わせに最適な「対物レンズタイプ PF」 アライメントや面合わせに最適な「チルト・回転タイプ PT」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適な「精密加工タイプ PU」 変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動する「コントローラ NC」 電圧を印加してオープンループ制御で駆動する「ドライバ PH」など、 多数掲載されています。 「PDFダウンロード」より無料進呈中です。
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基本情報
【掲載製品】 ○ベーシックタイプ PS →豊富なラインナップで幅広い用途に最適 ○開口付きタイプ PK →顕微鏡との組合わせや光透過型デバイスに最適 ○対物レンズタイプ PF →対物レンズの焦点合わせに最適 ○チルト・回転タイプ PT →アライメントや面合わせに最適 ○精密加工タイプ PU →超精密切削におけるナノ・マイクロ加工に最適 ○コントローラ NC →変位センサを用いてクローズドループ制御で駆動 ○ドライバ PH →電圧を印加してオープンループ制御で駆動
用途／実績例
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。