顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などに最適
顕微鏡・検査機器用、超精密加工機用、微小力計測、精密変位計測などの用途に最適なTHKプレシジョンの「精密機器」ガイドです。 弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ「顕微鏡用ナノサーボステージ」 SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ「顕微鏡用ナノステップスライダ」 超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール「精密金型加工用ステージ・センサ」 好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ「微小荷重用フォースセンサ」 など、多数ご紹介しております。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【ご紹介製品】 ［顕微鏡用ナノサーボステージ］ ○弾性ヒンジガイドと圧電アクチュエータによる超高分解能ステージ ○XY(Z)軸一体型ステージ ○対物レンズ用フォーカスポジショナ ［顕微鏡用ナノステップスライダ］ ○SIDMアクチュエータ採用の高精度位置決めステージ ［精密金型加工用ステージ・センサ］ ○超精密切削におけるナノ・マイクロ加工や加工力測定に最適なツール ○超精密加工機用ステージ ○バイト芯高調整ステージ ○精密”力”センサ ［微小荷重用フォースセンサ］ ○好感度薄膜歪みゲージ・静電容量センサを使った微小力センサ ○微小力センサ ○積層圧電アクチュエータ ○ピエゾドライバ ○超精密静電容量式変異センサ ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。