Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜、単膜
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企業情報
私達は農薬標準品、環境ホルモン関連物質標準品含め、三千種類に及ぶ標準品を取り揃え、全国の各種研究所・調査機関に提供しております。 また、試薬だけでなく、電子工業用薬品の研究開発に取り組み、近年ではユーザーとの共同開発体制を構築し、新機能の提案、性能評価を行い、電子産業の発展を支えています。
