液中パーティクルカウンター 0.04 μm、超純水の粒子汚染を監視
超純水プラントの送りにインライン設置 24時間モニタリング プロセスラインへの供給する超純水のパーティクルを監視 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン製品!
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基本情報
測定粒径範囲:0.04 μm~0.15μm以上 (10段階同時測定) センサ・コントローラ・流量計・データ保存を一体化したオールインワンタイプ
価格帯
納期
用途/実績例
●半導体工場 超純水供給プラントの送り ●半導体工場 Wet洗浄ライン 等
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騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。