0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応 インライン用パーティクルセンサー
薬供プラントの送り Wet洗浄ラインの粒子管理に 0.1μm、薬液管理、フッ化水素酸に対応する インライン・多点モニタリングシステム用センサー 半導体工場、薬液製造工場に多数の実績あり
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基本情報
●粒径区分（5 段階） 0.1μm、0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 以上 ●供給ラインにダイレクト接続、工程の異常をすばやくキャッチ ●センサコントローラ（KZ-70）やモニタリングソフトウェアとの 組み合わせで測定現場での制御、結果表示が可能 ●多点モニタリングシステムに対応 （RP モニタ K9461 Ver. 3 で20 ポイント、多点監視ソフト KF-02B で160 ポイント）
価格帯
納期
用途／実績例
半導体工場 薬液プラント 供給ライン 薬液製造メーカー 製造ライン 純水製造プラント 送り
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気中・液中パーティクルカウンター リオン 総合カタログ
企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。