特殊ガス供給システムのクリーンコントロールに威力を発揮 0.1μmから測定
半導体特殊材料ガスのインライン測定が可能 国内製造・国内メンテナンス 信頼のリオン計測器
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基本情報
●5段階の粒子を同時に測定 0.1 μm、0.15 μm、0.2 μm、0.3 μm、0.5 μm以上 ●定格流量は100 mL/min・最大300 mL/min ●イナートガス、腐食性ガス、反応性ガスなどの直接測定が可能 ●リークタイト、アウトガスフリー、デットスペースフリーを実現 ●SiH4、SiHCl3、HBr、NH3、PH3、HClなどに対応
価格帯
納期
用途／実績例
半導体工場 ガス供給ライン ガス製造工場
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。