計数効率を10 ％に向上 液中の0.05 μmを高感度に測定
純水～フッ酸まで ウェハのあらゆる洗浄液の粒子数測定に 0.05μmから測定可能
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基本情報
■ 測定粒径範囲：0.05 μm～0.2 μm (10粒径同時測定) ■ 測定粒径サイズはコントローラから任意設定 ■ 液漏れセンサ内蔵。本体内で液漏れ発生時に警報を出力 ■ セルにサファイアを使用 ■ 粒径分解能を高める技術を採用（特許取得）
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造工場 Wet洗浄ライン 半導体製造工場 薬液受け入れ検査ライン 薬液製造メーカー 製造ライン、出荷検査ライン 等
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企業情報
騒音計・振動計などの音響計測器群、清浄度管理に不可欠なパーティクルカウンタ、防災用・制御用地震計など地震計測システム、さらに超音波診断装置など、福祉および環境問題を中心に製品分野を広げ、長い技術の蓄積とたゆまざる新技術への挑戦によって社会福祉の増進と安全な生活、技術革新に寄与しております。
