【ポンプシステム 事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー
蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【適用例】 [添加剤分給へ適用] ○FLOW-BUS（ブロンコストのフィールドバス）に接続された マスターフローメータは主流体を計測 ○ある比率でマスターへ追従するようにプリセットされたスレーブ計器は 同じくFLOW-BUSへ接続 ○主流体が変化すると、スレーブ計器はFLOW-BUS経由で マスターから変化した出力信号を受信し追従 ○スレーブ計器は自身で設定値を再計算 ○新しい設定値に対してスレーブ計器のPIDコントローラが作動し、 制御信号をポンプドライバーへ供給 ○結果としてポンプの回転数を制御して新設定値まで添加剤の流量を制御 [バッチカウンターへ適用] ○質量を計測し、内蔵PID調節計は比例バルブをドライブ ○アナログ入力又はデジタルインターフェースへ外部から行われる （RS232又はフィールドバス） ○希望するバッチ量は内蔵カウンターリミット値としてプログラムされる ○カウンターのリミット値（バッチ）に達すると、 次のリセットまでバルブを閉止 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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1981年以来ブロンコスト・ハイテック( Bronkhorst High-Tech B.V. )は、サーマルとコリオリ式マスフローメータ/コントローラの分野で広範囲に渡る製品群を提供し続けています。数多くのタイプの標準的、又はカストマイズされた計測機器がR＆D分野、種々の工業分野又は危険場所でのアプリケーションにご利用いただけています。