SEMICON Japan 2017

真の質量流量が測定可能なコリオリ式デジタルマスフローメータ（流量計）及びコントローラ

液体・ガス用精密マスフローメータ（流量計）/コントローラは、先進的なコリオリ式センサー(パテント取得済み）を使用しており運転条件の変化（圧力、温度、密度、熱伝導率、粘度等）に関係なく直接質量を計測するハイパフォーマンスの計器です。調節弁はインテグラルタイプや分離型がご利用いただけます。調節弁はそのモジュール構造において競合他社製とは異なっており、調整作業なしに顧客が現場で交換可能です。標準バルブはノルマルクローズタイプでKv値が1.5までご利用いただけます。又、ノルマルオープンも供給可能です。詳しくはカタログをダウンロードしてください。

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耐圧防爆タイプ 国内防爆/IECEx / ATEX Zone-1 認証の液体用コリオリ式マスフローメータ、ガスの測定にも対応

『mini CORI-FLOW Ex d』は、危険場所で適用できるよう堅牢設計された液体/ガス用コリオリ式マスフローメータ(質量流量計)です。 コンパクトな質量流量計mini CORI-FLOWシリーズM12-M14を耐圧防爆容器に収めました。mini CORI-FLOWEx dシリーズは100 mg/h～30 kg/hの小流量域をカバーします。機器は最大圧力10.7または13.8 MPa(a)までのライン圧力でご利用頂けます。 【特長】 ■国内防爆型式検定合格 (IIB T6 Gb) ■IECExおよびATEX承認、耐圧防爆 ■流体特性に依存しない直接質量流量測定 ■高精度・優れた繰り返し性 ■マルチレンジ ■標準：アナログ0 ... 5(10) Vdcおよび0(4)... 20 mA出力とデジタル通信 RS232 ■オプション：RS485通信対応 (Modbus, PROFIBUS-DP, DeviceNet, FLOW-BUS) ■本質安全Ex i 4...20 mA電流出力 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量制御
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センサー応答が高速のため、高速制御が可能になったマスフローコントローラ

「mini CORI-FLOW(R) マスフローコントローラ（流量計）」は、高安定制御出力、高速応答の特徴を有しています。 センサー応答が高速(50…200msec)のため、高速制御が可能になりました。 従って例えば、分給等へのアプリケーションが期待できます。 【特長】 ○本体直結調節弁 ○高速応答 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• 流量計
• 流量制御

マスフロー制御ポンプ採用！調節弁制御に代わる制御方式の液体分給システム

「mini CORI-FLOW(R) 液体分給システム（ポンプシステム）」はコリオリ式フローメータ、ギアポンプ、フィルター、チェック弁とそれらを結合する配管から構成されています。 電気的、メカニカル的に全て結合され、PIDコントローラの最適化、総合テストを経て供給されます。 ポンプは極小流量から比較的大流量、高圧、ワイド制御レンジ、過激な流体用シリーズが揃っています。 アナログモードでの運転に加えて、デジタルモードでもご使用いただけま す。 【特長】 ○簡単、コンパクト構成；使い易い ○液体ソースの昇圧不要 ○コンパクト完全分給システム ○直接質量計測及び制御 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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• 流量制御
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【ポンプシステム　事例2】超臨界ガス計測と制御

超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

【ポンプシステム　事例1】ガス又は液体プリカーサーデリバリー

蒸着プロセスでは色々のプリカーサー流体（ガス、液体を問わず）を正確に制御されなければなりません。 「mini CORI-FLOW(R)シリーズ高精密マスフロー調節計」は、特にこれらディマンディングなアプリケーションに最適です。 “マルチレンジ”機能のおかげで、OEM顧客は何種類もの計器を数多く保有する必要がありません。 この計器はレンジ変更が簡単であり、従ってコストオブオーナシップを提供いたします。 【適用例】 ○mini CORI-FLOW(R)を添加剤分給へ適用 →容易にコンパクトで自律的なシステムを構築することができる ○mini CORI-FLOW(R)をバッチカウンターへ適用 →高精度、高速、高繰返し性、コンパクトなバッチ及び分給システムを提供 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

• その他ポンプ
• 流量制御
• その他プロセス制御

《液体/気体に適応》研究向きな高精度流量計！

極小流量から小流量域で、従来の10分の1のコンパクトサイズ流量計。 コスト効率の良い質量流量計及び調節計を追求した設計。 ●世界最小のコリオリ式流量調節計 ●高精度1：運転条件(圧力、温度、密度、熱伝導度、粘度)が 　変化しても影響されない仕組み。 ●高精度2：読み値±0.2の世界最小の誤差範囲 ●液体及び気体に適用可能 ●ヨーロッパで多数実績あり ・・・その他多くの特徴があります。 ★詳しくはお問い合わせまたはカタログをダウンロードしてご覧下さい。

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精密に制御かつ高再現が実現できる！TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 流量計
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2/5~2/7にパシフィコ横浜で開催されたテクニカルショウヨコハマに初出展いたしました！ 3日間で100名を超える方と名刺交換ができました。

THK株式会社は、オンラインセミナー「OEE（設備総合効率） 最大化プラットフォーム OMNIedge スキル管理AIソリューション編」を開催いたします。 今回のセミナーでは、レトロフィットIOTで製造現場に変革をもたらす、 OEE（設備総合効率）最大化プラットフォームOMNIedgeの概要、 スキル管理AIソリューション、導入事例についてお話いたします。 以下のようなお悩みの方におすすめの内容です。 ・スキルマップ(力量管理)を紙やエクセルで管理する煩雑さに困っている、 ・ベテラン社員の退職に伴う技術伝承に不安を感じている ・感覚に頼った人材配置をされている 皆様のご参加を心よりお待ちしております。

日東工器は、2025年2月19日(水)～2月20日(木)の2日間 『コンベックス岡山 小展示場』にて「2025 アタックフェアin岡山」を開催いたします。 アタックフェアは、日東工器の製品を実際に「見て・触れて・動かす」ことのできる展示会です。 さらに、もれなくもらえる素敵な来場記念品など･･･ 楽しい企画をたくさんご用意して、皆さまのお越しをお待ちしております！

日東工器は、2月19日(⽔)～ 2月21日(金)の3日間 東京ビッグサイト 東1ホールで開催される 「第23回 H₂＆FC EXPO春 国際水素・燃料電池展」に出展いたします。 【弊社小間番号：E7-30】 迅速流体継手「カプラ」は、空気・水・油・薬液など様々な流体の配管を素早く接続・分離できる製品です。 本展示会では、高圧水素充てん用迅速流体継手「HHVカプラ」を中心に展示いたします。

ストーブリは、東京ビッグサイトで開催されるBATTERY JAPAN 二次電池展に出展します。 展示内容 * センサー、エア、電源の接続を一括化、自動化できるモジュール式コネクタ CombiTac * 最大定格1000Aに対応する丸型単芯コネクタ * フォークプラグ等の安全で効率的なソリューションのプラグイン・システム * 太陽光発電の純正コネクタMC4 * 太陽光システムの最適化、アレイの接続、集中型PCSとの接続を簡易化、蓄電池の接続可能なBOSCON * 液体/気体向けノンスピルクイックカップリング　流体コネクタ 皆様のお越しをスタッフ一同心よりお待ち申し上げております。 【開催概要】 日程：2025年2月19日（水）～2月21日（金）10時～17時 場所：東京ビッグサイト 小間番号：E44-17