プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。
高温ウエハ加熱用ホットプレート 「PH860」は、リフターピン駆動によりウエハなどの上下搬送が可能です。 プレート、リフターピンは、超耐熱合金にて製作しております。 安全カバー（オプション）は、上開口扉付、扉無しなどのバリエーションがございます。 【特徴】 ○最高温度 800℃ 対応 ○ホットプレートサイズ □175mm ○MSA デジタル温度コントローラーにて精密温度制御、流量制御が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○温度制御範囲：50～800℃ ○ホットプレートサイズ：175×175mm ○温度精度：±5% ○安全カバー：オプション対応 ○リフターピン：カスタマイズ対応 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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