多層膜の膜厚・屈折率を非接触で高精度測定。本体の操作や解析作業が容易 ※デモ可能＆技術資料進呈
『SE-2000』は、薄膜の膜厚・屈折率を“非接触”で高精度に測定できる回転補償子型の分光エリプソメータです。 ユーザーフレンドリーな解析ソフトを備えており、解析作業が容易。 深紫外から近赤外領域まで幅色い波長領域の測定に対応しています。 材料の組成比、異方性、Mueller Matrix、偏光解消度、反射率・透過率、ドーパント濃度、 リタデーション(R0、Rth)などに関する検査にも対応しており、幅色い用途で活用可能です。 【特長】 ■高精度CCD、高分解能PMT搭載 ■光学モデルのデータベースが豊富 ■多彩な拡張オプション ■販売実績が多数 〈 セミナー詳細 〉 ■テーマ：分光エリプソメータ 解析モデル作成手順の説明～初級編～ ■開催日時 ・4/22(木) 10:00～ ・5/13(木) 16:00～ ■内容 一般的な構造のサンプルを例にして、解析モデルの作成手順をご説明します。 有効媒質近似モデル、Cauchyモデル、Tauc-Lorentzモデルを使用した解析の説明。 ※参加方法は、当社ホームページ（下記リンク）でご確認ください。
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基本情報
※測定原理や測定例、解析プロセスを紹介した技術資料を進呈中。 「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。 ※デモの実施も可能です。 【分光エリプソメトリーについて】 分光エリプソメトリーでは、全波長領域における測定データ(Δ,ψ)に対して 適当な光学モデルを適用し解析を行います。 解析の結果として、各層の膜厚、屈折率、消衰係数が得られます。 膜厚はサブ・ナノメートルから測定が可能で、再現性にも優れています。 多層薄膜や材料の光学特性の検査に幅広く使用されています。 ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
価格情報
波長範囲などの仕様によって価格が変動しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
納期
※お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
【アプリケーション例】 半導体、ディスプレイ、太陽電池、バイオ関連、ナノテクノロジー関連など 非常に多くの実績があります。 ※無料カタログをご用意しております。 ダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
詳細情報
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分光エリプソメーター 測定原理イメージ エリプソメトリ測定原理イメージ
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マッピング 測定結果イメージ マッピング結果イメージ
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この製品に関するニュース（3）
企業情報
Semilabは、世界の最先端技術の研究、製造をサポートする総合測定装置メーカーです。 半導体ウェハーからデバイスの検査に、非接触CV測定装置、ライフタイム測定装置、分光エリプソメーター、フォトルミネッセンス、DLTSシステム、シート抵抗測定装置、ナノインデンター、AFMなどを取り扱いしています。 装置の仕様や価格などお気軽にお問合せ下さい。