従来の校正リークの代替に
校正リークには、メンブレンタイプ、キャピラリータイプが用いられますが、使用条件・環境によっては、破損、詰まりによる頻度の高い交換を行う必要があります。これらの改善策として、弊社にてSCEを開発いたしました((独)産業技術総合研究所との共同研究）。
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基本情報
高い気密性が求められる部品および製品、またそれらを製造・検査する装置のリーク(漏れ)検査は必須の工程となります。 最も一般的な検査方法としては、ヘリウムリークディテクタ等の機器を用いてリークテストを行い、部品や装置に対しての気密性の信頼性検査が 行われます。このような検査装置においては、標準リーク用の校正機器が必須であり、主に校正リークとして、メンブレンタイプ、キャピラリータイプが 用いられています。これらは環境条件や扱いによっては破損・詰まり等が発生し頻繁に交換を必要とする場合があり、リークテストの回数頻度が多い場合、それらの解消が、生産性を向上させる上では課題となることもあります。 ピュアロンのSCEシリーズは、各種ガスを粘性流の状態から中間流を 介さずに直接分子流として真空チャンバ内に導入することを可能にした製品であり、従来の校正リークに代わる機器として使用することができます。 ピュアロンが長年培ってきた超高精密フィルターの技術を応用しており、 破損・目詰まり等がしにくい特長があります。SCEシリーズを使用することで、従来よりも生産性・信頼性の高い検査を行うことが可能となります。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
※お問合せください。
用途／実績例
校正リーク PMFCシリーズと用いてのQMSのその場校正
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企業情報
株式会社ピー・ジェイは、(株)ピュアロンジャパンの総販売元として設立されました。(株)ピー・ジェイは全力を尽くしてピュアロン製品を世界に発信して参ります。 取扱商品 １.（株）ピュアロンジャパン製品全て ・セラミックガスフィルター ・メタルガスフィルター ・ハステロイガスフィルター ・ＰＴＦＥガスフィルター ・ハイブリッドフィルター ・ガス精製器 ・ヒーター ・リキッドフィルター ・圧力センサー ・表示器 ・温度センサー ・微差圧計 ・比抵抗率計 ・デジタルフローコントロールシステム ２.半導体製造装置用及び一般産業機器向け流体制御機器部品