搬送部、真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気アライナ：フットプリント80%（□85x100mm）, 容積比80%ダウン 組み合わせにより、多彩な搬送シーンに貢献 透明体、半透明体にもそれぞれ対応
この製品へのお問い合わせ
基本情報
被搬送物2インチシリコンウェーハ 位置決め精度センタリング：±0.3mm以内 オリフラロケート：±0.3度以内 位置決め時間センタリング～オリフラ 約10秒 センサオリフラサーチセンサ ウェーハ保持方式アライメント時：エアシリンダ駆動のエッジグリップ機構にて位置決め オリフラサーチ時：スピンドル上のウェーハは真空吸着により保持 クリーン度ISOクラス2（駆動部排気時） 駆動方式2相ステッピングモータを1軸使用（モータドライバは内蔵) ユーティリティ電源：DC24V±10% 2A
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。
