真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
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基本情報
ロボット仕様 ロボット型式TSVCR3060N-020-PM 被搬送物2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式円筒座標型制御軸3軸 モータタイプエンコーダ付き2相パルスモータ 動作範囲アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) ±119mm360度20mm 搬送速度アーム(R軸)旋回角度(θ軸)上下ストローク(Z軸) 230mm/sec450度/sec40mm/sec 繰り返し精度±0.1mm以内 クリーン対策磁性流体シール及びフィルタにより対策 耐真空度1.33×10-6Pa ユーティリティ電源：DC24V±10% 4A 質量ロボット本体 約7kg コントローラ仕様 コントローラ型式C4301シリーズ インタフェースRS232C, パラレルフォトI/O 本仕様はTSVCR3060N-020-PMの代表的な仕様です。被搬送物、チャック形状により異なります。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置など
企業情報
◆信頼を大切にします ご満足いただける製品の提供はもとより、まず「お客様」「取引先」との信頼を経営の基本に据え、大切にしていきたいと考えております。 ◆心 「社員の働き甲斐、生き甲斐が無い職場に心のこもったサービスは生まれない。」との認識に立ち、小さな組織で隅々まで心の通いあった会社創りを目指しています。 ◆スピード どんなに良いものでも必要に間に合わなければ、良いものではない。 ◆技 長年の経験、蓄積したデータ、開発した技術により、ニーズを的確に理解した物創りができます。 ◆お客様の信頼と満足 「心」「技」一体で、「ＪＥＬ製品を導入してよかった」という、最終的なご満足をいただけるものと確信します。