クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡
半導体産業向けウエハー乾燥装置として多くの実績を有する装置です｡ 遠心力とエアーの流れによりワークをクリーンに水切り乾燥します｡ クレードル起し機構により､自動でクレードルを起します｡ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 ○駆動エアー0.5Mpa (5Kg/cm2) ○最大処理量6インチキャリア×2架 5インチ以下キャリア×2架又は4架 ○許容積載重量2,000g以内(各クレードルへの積載重量) ○ULPAフィルタ有 ○イオナイザ有 ○制御PLC・インバータ ○操作部釦スイッチ ○回転数1,000rpm(常用回転数 800rpm) ○モータインバータモータ ○電源AC200V 3φ 50/60Hz 15A ○寸法800(W)×990(D)×1004(H)mm 蓋開時の高さ1528(H)mm ○重量180Kg 他、８インチまで対応の装置、手動機、自動機などのラインナップがございます。 半導体以外の用途でもお気軽にご相談ください。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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