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メタルマスク外観検査装置

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SVM-600

最終更新日:2015年04月08日

新電子株式会社
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様々な製版マスクの検査・測長を1台で実現した、高速・高精度外観検査装置

☆メタルマスク外観検査装置☆ ○特徴 1.様々な製版マスク(SMTメタルマスク・サスペンドメタルマスク・乳剤製 版マスク・バンプメタルマスク)の検査・測長機能。 2.各工程間の検査に対応するため、検査用マスターデータは、ガーバデー タに加えフィルム・硝子乾板からも生成可能。 3.ハイスピードカメラ:高速画像処理手法の採用による高速検査の実現。 4.画像検査に加え±10μ精度の測長機能を搭載。 5.主な検査項目  ピンホール・断線・ショート・パターンの異彩・乳剤のエグレ・サイズ 違い・形状違い・半透明の乳剤カスの残存・異物

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メタルマスク外観検査装置

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基本情報

☆メタルマスク外観検査装置:SVM-600 ○標準仕様 1.最大搭載マスク 仕様打合せ後対応可 2.最大マスク厚み 仕様打合せ後対応可 3.検査エリア   仕様打合せ後対応可 4.検査対象項目  パターン検査,ピンホール検査,異物検査 5.使用カメラ   エリアセンサーカメラ×1~4台          高精度カメラ,ZOOM機能(高倍率/低倍率の切替) 6.分解能と精度  高倍率:分解能・2.325μ、精度・約±2.5μ          低倍率:分解能・4.5μ、精度・±5μ 7.照明      サイド照明          透過照明 8.駆動軸     XYZθ                    

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用途/実績例

○各種精密製版マスク ○各種精密パターン、グリーンシート、ビア検査

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新電子は、これまで業界問わずオーダーメイドで、数多くの装置を製作いたしました。 その中には、仕様書もなく手探りで、お客様と会話を重ねながら製作した装置や数々のメーカーに断られ続けてきた自動化案件を長年検証させて頂き装置化した実績もございます。 お客様からのお問い合わせを親身になって、様々な角度から解決策を模索していく、そのような経験や多くの検証実績が、新電子の技術力やノウハウとして蓄積されております。 どこに相談しても実現できなかった自動化の課題、あきらめる前に「一度、新電子に相談してみませんか?」 こういう検査がしたい、この工程を自動化したい・・・お気軽に新電子にご相談ください。

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