省エネルギー・高効率化を実現した内熱式油拡散真空ポンプユニットです。
オイルレベルゲージでは、オイル量、汚れを一目で確認できます。またメンテナンスについては早めのオイル交換を実施いただくだけで十分。作業効率もUPします。 【特徴】 ○オイル加熱ヒーターには内熱式シースヒーターを採用し、省電力化を実現 ○ジェットの改良により、排気性能が大幅に向上 ○ポンプの立ち上げ時間を短縮 ○直接水冷式コールドキャップをバッフルに内蔵したことにより 水冷式でもオイルバックを抑制することが可能となった 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【仕様】 [SFD-22C / SFD-26C] ○ヒーター電力 (KW)：7.8 / 10.8 ○ヒーター効率 (％)：93 / 93 ○排気速度（m³/sec) ：6.5 / 10 ○臨界背圧 (Pa)：27 / 31 ○到達圧力 (Pa)：3×10-5 / 3×10-5 ○所要電力 φ3 200V (kW)：7.8 / 10.8 ○作動油 (L)：5 / 6 ○冷却水量 (L/min)：12 / 16 ○立ち上がり時間 (min)：35 / 15 ○冷却時間 (min)：20 / 60 ○本体＋バッフル重量 (kg)：260 / 386 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
株式会社昭和真空は、真空中で特定の基板に薄膜を形成させる装置を主とした、真空蒸着装置やスパッタリング装置等の真空技術応用装置（真空装置）を製造販売しております。