エキシマ光で効率よく表面洗浄、改質！
高光子エネルギー真空紫外光源のエキシマランプによって有機物洗浄、表面改質を低温で行うことができます。 フラットタイプは面自体が発光する高出力、高密度高分布モデルです。
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基本情報
172nmの光で効率よく有機物洗浄及び表面改質が可能です。 特徴 準単色光：エネルギー交換効率が良く、ワークに対して熱のダメージを与えません。 瞬間点灯消灯：瞬時の点灯消灯ができ、必要時のみの点灯照射が可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
用途 UVオゾン洗浄 ドライエッチング/ソフトアッシング UVアニール 表面改質 レジスト残渣除去
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企業情報
株式会社クォークテクノロジーは最先端の光応用技術を利用した各種産業用設備機器の製造販売を行っております。 真空紫外及びUV-LED光源の開発により、半導体製造技術を始め、液晶、PDPからフィルム、ELなどの新規ディスプレイ、各種電子材料及び電子機器の製造技術に導入させていただいております。 そのほか、医療や社会的課題であります廃棄物・環境対策機器の需要に対しても研究開発を計画しております。 あらゆる物質は原子、核子そして「クォーク」から成り立っております。 私たちクォークテクノロジーは、光を研究し産業応用技術へのチャレンジを続けてまいります。