高機能・低価格 タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あらゆる性能をパワーＵＰしました！
電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。 これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。 タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。 また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。 徹底的にこだわり抜いた装置ですが、驚きの低価格も実現。オスミウムコーティングにご興味のある方、オペレーションに不安のある方、是非当社のオスミウムコーターをご検討ください。テスト成膜、デモの依頼も随時承っております。
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基本情報
特 徴 ★ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法（特許）を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。（1ｇ使用時100回程度） ★ コーティング操作はフルオートです。SEMのスタブに取り付けた試料をホローカソード内に置き、スタートスイッチを押すだけです。 ★危険な未反応オスミウムガスは排出オスミウムトラップ（活性炭）で取り除き大気汚染は在りません。活性炭の交換時期は、操作パネルで確認可能です。 ★膜厚コントロールは時間・温度・電流により微調整を可能にしています。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
用途／実績例
電子顕微鏡観察のためのオスミウム金属膜生成装置です。 高倍率観察や複雑形状サンプルの導電処理に有効です。 サンプルへ非常に薄い導電成膜が出来ますので、Ｘ線分析、オージェ分析にも応用されております。
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企業情報
スパッタ装置、蒸着装置、プラズマ照射装置、CVD装置、真空コンポーネントを製造しております。 電子顕微鏡試料作成用の前処理装置や研究開発機関向けの小型真空装置をラインナップしております。 私たちは、最先端技術研究開発分野で活躍されている方々の必要な機器開発を、早く・廉く供給し、実験過程で逐次改良､改造を加えて開発のサポートをして行くこともわが社の如く小回りの利く会社の任務と考えています。 半導体、バイオ、環境、ナノテク分野の新技術開発に必要な実験器具・装置の開発、及び新技術開発の最先端解析道具としての電子顕微鏡試料作製に関わる装置の開発、製品化、販売、サービスを行っております。