移動量と傾きを同時測定いたします。 非接触で測定しますので、測定治具などの制約がありません。
変位計とオートコリメータを内蔵した1台の光学センサーです。 広視野の角度測定と高分解能の変位計測を両立しています。 処理機能を本体に内蔵していますので、配線などは必要ありません。電源ユニットを接続するだけで、すぐに測定することが出来ます。
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基本情報
変位測定：±1mm（分解能：1µｍ） 角度測定：±90分（分解能：0.1分） 測定距離：70mm 測定面 ：全反射ミラー 測定面積：φ3mm 通信機能：USB（RS-232Cも内蔵） アナログ：BNC端子にて出力 出力信号：±5V 表示機能：LCDパネル内蔵
価格帯
50万円 ~ 100万円
納期
用途／実績例
VCM検査装置 カメラモジュール測定装置 OIS検査装置
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企業情報
半導体レーザーを駆使して検査装置及び製造装置を開発や製造をしています。