複数台数のRF電源出力位相を一定制御します
1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ（フィードフォワード制御）、クローズドループ（フィードバック制御）に選択して制御することが可能です。 ・オープンループ（フィードフォワード制御） 位相をRF電源側で測定しコントロールするものです。 一般的な位相シフターは、この方式を取っています。 ・クローズドループ（フィードバック制御） 位相をよりプラズマに近い箇所すなわち整合器出力端で測定しフィードバックするものです。 従来方式と比較し、より正確な位相のコントロールが可能です。 仕様NXE－03B－2P ＡＣ入力85～240V 50/60Hz 50VA 基準周波数13.56MHｚ±0.005％ 位相制御範囲0～359° 位相測定精度±5°全位相範囲にて 入力ダイナミックレンジ最小入力レベル3dＢm 最大入力レベル23dＢm
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基本情報
1 つの基準位相信号に対し2 台のRF 電源、整合器の負荷電圧位相を制御するもので、各々位相をオープンループ（フィードフォワード制御）、クローズドループ（フィードバック制御）に選択して制御することが可能です。 ・オープンループ（フィードフォワード制御） 位相をRF電源側で測定しコントロールするものです。 一般的な位相シフターは、この方式を取っています。 ・クローズドループ（フィードバック制御） 位相をよりプラズマに近い箇所すなわち整合器出力端で測定しフィードバックするものです。 従来方式と比較し、より正確な位相のコントロールが可能です。 仕様NXE－03B－2P ＡＣ入力85～240V 50/60Hz 50VA 基準周波数13.56MHｚ±0.005％ 位相制御範囲0～359° 位相測定精度±5°全位相範囲にて 入力ダイナミックレンジ最小入力レベル3dＢm 最大入力レベル23dＢm
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途／実績例
複数台数のRF電源出力位相を一定制御します
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。
