手動及び自動（リモート）に対応しております。
仕様NXE-18 入出力接続コネクタHN-R 最大使用電力1kV 真空リレー最大 30A(連続)／15kVdc×2 個使用 耐圧試験DC1000V メガーテスト実施 ステータス接点定格DC24V 3A 以下／AC220V 3A 以下 温度異常接点定格温度異常接点定格 DC／AC110V 0.3A 以下 (55℃以上で接点オープン)
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基本情報
仕様NXE-18 入出力接続コネクタHN-R 最大使用電力1kV 真空リレー最大 30A(連続)／15kVdc×2 個使用 耐圧試験DC1000V メガーテスト実施 ステータス接点定格DC24V 3A 以下／AC220V 3A 以下 温度異常接点定格温度異常接点定格 DC／AC110V 0.3A 以下 (55℃以上で接点オープン)
価格帯
10万円 ~ 50万円
納期
用途／実績例
弊社RF電源・Mboxと併用されます
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。