DC電源とRF電源の重畳に対応タイプの自動整合器です
型式NM3AD-XX 周波数13.56MHz 通過電力3KW 入力インピーダンス50Ω 不平衡 整合モード自動又は手動切り替え 入力コネクタHNコネクタ 出 力ブスバー 冷 却水冷/空冷併用 整合時間プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O0～10.0V 外部シリアル通信RS232C/422/Device Net 電 源AC84V～220V/DC24V（80VA)
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基本情報
型式NM3AD-XX 周波数13.56MHz 通過電力3KW 入力インピーダンス50Ω 不平衡 整合モード自動又は手動切り替え 入力コネクタHNコネクタ 出 力ブスバー 冷 却水冷/空冷併用 整合時間プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O0～10.0V 外部シリアル通信RS232C/422/Device Net 電 源AC84V～220V/DC24V（80VA)
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置、等
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。
