周波数を可変させてマッチング調整を行う高周波電源です
特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時) 最大定格1000W 定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続 出力方法 連続出力 出力インピーダンス 50±2Ω RF出力コネクタ HN-R 出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み) 定格出力電力1000W 出力周波数 13.56MHｚ 周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振 周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る) 冷却方式 強制空冷 背面吹出し 外形寸法 W430×D640×H174 重量 約29kg
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基本情報
特徴 マッチングボックスが不要でコンパクト設計、低コスト化を実現 電子制御で稼働部がなく、メンテナンスフリー 超高速マッチングを実現 ■ NR1S13M-01 出力電力範囲 0～1200W(内部キャリブレーション機能使用時) 最大定格1000W 定格最大出力 1000W(50Ω負荷)連続 出力方法 連続出力 出力インピーダンス 50±2Ω RF出力コネクタ HN-R 出力調整範囲 0～1200W連続可変(設定は1W刻み) 定格出力電力1000W 出力周波数 13.56MHｚ 周波数安定度 ±0.01%(10～40℃)水晶発振 周波数可変範囲 13.2MHｚ～15.0MHｚ(Fマッチ動作時に限る) 冷却方式 強制空冷 背面吹出し 外形寸法 W430×D640×H174 重量 約29kg
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造装置等
企業情報
RFテクノロジーズは、高周波電源がプラズマプロセスに使われ始めた頃より「実証研究」「素材開発」「表面改質」「半導体製造」「FPD製造」「太陽電池」など・・・高周波関連の開発・設計に携わって参りました。幸いにも、学術研究関係の方々や、世界最先端の技術水準を行く大手半導体製造設備メーカーの方々とも技術提携・技術交流の機会に恵まれ、装置メーカーが対処すべき領域と、電源メーカーが解決すべき領域が複双し合う事象にはお互いの技術のすり合わせがあって初めて解決できた事も数多く体験して参りました。