RF計測器 / チャンバー内のRFを高精度に測定が可能
・１％の精度で測定が可能。 ・1μsの時間分解能で測定が可能 ・単周波数のみでなく、複数の周波数が測定可能 （Ocye Poly Octiv Suite） ・イオンフラックスが測定可能 （Octiv Suite）
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基本情報
Octiv Suiteは、RFの以下のパラメータを測定可能です。 ・電圧 ・電流 ・フェーズ ・ハーモニクス ・インピーダンス ・イオンフラックス ・Waveform reconstruction
価格帯
納期
用途／実績例
エッチング、スパッタ、イオンプレーティング等のRFパラメータの測定。 RF供給電源の性能確認。
企業情報
マツボーは【産機・情報】【粉体】の2つの事業分野と【テクニカルセンター】のバックアップ体制でサービスを提供しています。機械の専門商社の枠にとらわれず、導入に先立ってのコンサルティングから、設置・ローカライズにかかわるエンジニアリング、導入後のメンテナンスや改善・改造提案まで、お客様に安心してお使いいただくための一貫したサービス体制を整えています。
