マルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。【アルバック／ULVAC】
メカニカルブースターポンプはドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する10k ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。 PMB シリーズVer.D はマルチ電圧モータも選択できる汎用型のメカニカルブースターポンプです。 オプションで空冷での運転が可能な他、表面処理や大気圧駆動型も選べます。 【ラインナップ】 ○PMB100D ○PMB300D ○PMB600D ○PMB1200D ○PMB2400D 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○空冷運転可能（オプション：空冷用インバータ） →空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が可能 ○マルチ電圧モータ選択可能 （200V級かマルチ電圧のどちらかを選べる） →汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ（オプション）の搭載も可能 ○耐腐食性に優れた表面処理（オプション：Tタイプ） →主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施す →ポンプ内部の傷や腐食を抑える ○排気時間短縮に有効な大気圧駆動型（オプション：インバータ） →粗引ポンプとの同時起動が可能なので、 標準型に比べ排気時間が短縮できる ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング ○真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気 ○分析機器、リークテスト装置 ○ガス置換、充填、真空断熱 ○熱処理炉、溶解炉 ○その他各種真空装置 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。