大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。【アルバック／ULVAC】
YTP シリーズは、「ピボット軸受＋磁気軸受（永久磁石）」を採用したターボ分子ポンプ UTM シリーズを使用した大気圧から高真空まで排気可能な排気ユニットです。START/STOP スイッチで自動で排気可能なSA タイプと、手動操作のM タイプをラインナップしています。 【特徴】 ○自動操作型(YTP-SAシリーズ)と手動操作型 (YTP-Mシリーズ)の2種類、排気速度も4種類の選択が可能 ○停電時は、自動でフォアバルブを閉めロータリーポンプ内を自動ベント →復電しても、排気ユニットは動作しない ○ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油の飽和蒸気圧は、 10-11 Pa台(20℃)のため、限りなくオイルフリー ○ターボ分子ポンプは高性能軸受を採用しているため、 面倒なオイル交換やベアリング交換が不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○用途に合わせて各種シリーズを用意 →補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、 ドライスクロールポンプを採用したDRY仕様がある ○清浄な高真空を実現 →ターボ分子ポンプに使用しているフッ素油は飽和蒸気圧が 10-11Pa台（20℃）で、DRY仕様とすることで限りなく清浄 ○優れた停電対策 →フォアバルブに電磁弁を標準装備し停電時の逆流・故障を防止 ○粗引き状況を確認可能 →ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能 ○UHVまでの排気が可能 →オプションのベークジャケットを取り付け、 脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気系として使用可能 ○ランニングコスト低減 →ターボ分子ポンプのピボット軸受は面倒なオイル交換・補充や 軸受交換が不要になり、ランニングコスト低減が可能 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○大気圧から高真空の排気系 ○各種実験・研究用装置の排気系 ○高純度ガスの真空置換 ○超高真空装置の粗引き排気系 ○分析装置の排気系 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。