Bessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。【アルバック／ULVAC】
AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5x10^-10Pa の測定分解能を実現しました。 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に最適です。 【仕様】 ○使用温度範囲 10 ～ 40°C ○使用湿度範囲 15 ～ 80％（ただし結露なきこと） ○電源電圧 AC85 ～ 240V ○外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm ○質量 5.3kg 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【特徴】 ○超高真空～極高真空測定が可能 →10^-11Pa台の圧力測定が可能 ○Bessel Box型エネルギーフィルタを搭載 →軟X線やESDイオン等の残留電流の低減が可能 ○広帯域測定が可能 →0.5×10^-10 ～ 1×10^-2Paの広い圧力範囲 ○測定値出力信号 →圧力は0 ～ 10Vの疑似Log 出力/ 各桁内1Vリニア出力の標準装備 ○制御出力信号 →セットポイント2点の出力可能 ○デジタル出力およびシリアル通信の対応が可能 →BCD/RS232Cが可能（オプション） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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用途／実績例
【用途】 ○高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に ○超高・極高真空装置の圧力測定に ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。