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差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

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最終更新日:2016年01月27日

株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
株式会社アルバック/ULVAC, Inc.
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豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。【アルバック/ULVAC】

差動排気系キット付四重極型質量分析計(Qulee with YTP)は、アルバックのQuleeにおける豊富な実績とお客様のニーズに合わせ、機能の充実と使いやすさを実現しました。 各種真空装置のプロセス管理や残留ガス分析からR&D まで幅広く活用いただけます。 【仕様】 ○ガス分析計本体 Qulee BGM-101/102/201/202、HGM-302から選択 ○最大サンプリング圧力  大気圧/3000Pa/500Pa/100Pa/10Pa/1Paから選択 ○ガス導入系(500 ~ 1Pa仕様)  手動ベローズバルブ(2系統)・取合フランジ UFC070 ○ソフトウェア Qulee QCS Ver. 3.1以降(Windows 7/8対応) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

    その他計測・記録・測定器分析機器・装置
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差動排気系キット付四重極型質量分析計Qulee with YTP

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基本情報

【特徴】 ○コストパフォーマンス抜群 →差動排気系付のためプロセスモニタリングから  残留ガス分析(RGA)までを1台で対応可能 ○コンパクト設計 →標準排気ユニットYTP-50Mを採用したコンパクト設計 ○表示部一体型の設計 →PCレスでも測定可能 ○簡単操作 →One Click機能(だれにでも簡単、複雑な操作は不要) ○大気圧分析も可能 →大気圧分析も含め、3000Pa、500Pa、100Pa、10Pa、1Paでの  モニタリングが可能な仕様を準備 ○用途に応じた機種選定が可能 →質量数1 ~ 100(BGM-101/102)、1 ~ 200(BGM-201/202)、  1 ~ 300(HGM-302)から選択可能 ○ランニングコスト低減 →ターボ分子ポンプのピボット軸受は面倒なオイル交換・補充や  軸受交換が不要になり、ランニングコスト低減が可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。

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