薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。【アルバック／ULVAC】
UNECSシリーズは薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定する分光エリプソメータです。 独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。 ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置ビルトインタイプまで、用途に応じ幅広いラインアップを用意しております。 【仕様】 ○高速測定 →独特なスナップショット方式の採用により、最速20msの高速測定を実現 ○可視分光対応 →波長範囲は標準タイプ（530nm〜750nm）および 可視分光タイプ(380nm〜760nm）から選択できる ○コンパクトなセンサユニット →投受光センサは回転機構を持たない光学素子のみで構成されており 非常に軽量・コンパクトで、定期的なメンテナンスも必要ない ○豊富なラインアップ →ユニークなポータブルタイプをはじめ、手動／自動ステージタイプや 大型基板タイプ、大気／真空環境に対応した装置ビルトインタイプ など、多様な用途に対応したラインアップを用意している 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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基本情報
【ラインナップ】 ○U N E C S - P o r t a b l e （ポータブル） →軽量・コンパクトなポータブルタイプ ○U N E C S - 1 5 0 0 M （手動ステージ） →φ150mm対応の手動ステージタイプ ○U N E C S - 1 5 0 0 A / 2 0 0 0 A / 3 0 0 0 A （自動ステージ） →マッピング測定が可能な自動ステージタイプ ○U N E C S - 1 M （ビルトイン） →各種装置への組み込みが可能なビルトインタイプ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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企業情報
アルバックの企業理念は真空技術及びその周辺技術を総合利用することで、産業と科学の発展に貢献することを目指すものです。 アルバックは、永年の研究開発と生産技術改革で培ってきた独自技術を結集して、フラットパネルディスプレイ、電子部品、半導体、一般産業用機器向けに、装置、材料、分析評価、サービスを多角的に統合した「アルバックソリューションズ」を提供しています。 これからも、時代の変化とお客様のニーズをしっかり受容し、あらゆる最先端分野で世界のトップメーカーを目指します。