超高分解能を必要とされる用途に最適な最新型の静電容量変位センサです！
Lion Precisionの『静電容量変位センサモデルCPL490』は、超高分解能を必要とされる用途に対応するために新たに開発された最新型の静電容量変位センサです。 高分解能でありながら高速応答にも対応しているため、高速で回転する超精密スピンドルの振れ測定や 超精密加工を行うためのステージステップ送り測定などナノメートルレベルの測定にご活用いただけます。 Lion Precision独自技術による温度補正機能により、優れた安定性も実現しています。 【特長】 ○非接触変位測定 ○サブナノメートルレベルの高い分解能 ○高速応答(最高50kHz) ○温度補正による優れた温度ドリフト性能 ○様々な測定範囲をラインアップ ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お問い合わせください。
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基本情報
【主な仕様】 ■測定範囲：10um～200um ■出力分解能：最高0.05nm ■直線性：0.2% F.S. ■応答周波数：1kHz, 10kHz, 15kHz, 50kHzに切替え可能 ■温度ドリフト：0.04% F.S. /℃ ■使用温度範囲：15～40℃ ■使用湿度範囲：95%以下(結露なきこと) ■出力電圧：±10V ■供給電源：AC100V ※詳しくはカタログをダウンロードしてください。
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